硅片超聲波清洗機的清洗原理主要依賴于超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用。具體來說，清洗機將電能轉(zhuǎn)化為機械能，使清洗槽中的液體產(chǎn)生高頻振動，形成聲波。當(dāng)聲波作用于硅片表面時，會在其表面形成微小的氣泡并迅速破裂，從而產(chǎn)生強大的沖擊力，將硅片表面的污垢和雜質(zhì)剝離并分散在清洗液中。